技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES清潔度表面張力接觸角測(cè)試儀可在分析測(cè)試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上,進(jìn)而分析Plasma效果,是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測(cè)試系統(tǒng)。
清潔度表面張力接觸角測(cè)試儀本系列表面清潔度分析儀由儀器主機(jī)和2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據(jù)樣品臺(tái)移動(dòng)方式不同,我們將儀器主機(jī)分為自動(dòng)、手動(dòng)兩種。樣品臺(tái)尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。
一、LCD系列表面清潔分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1、人性化的設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單;
→選購(gòu)自動(dòng)注射泵,可完成自動(dòng)進(jìn)液控制,精度可達(dá)0.02uL
→自動(dòng)修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測(cè)試,軟件自動(dòng)完成拍照、分析敏感點(diǎn)、計(jì)算角度值
2、全區(qū)域測(cè)試,可支持各種規(guī)格面板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3、數(shù)據(jù)庫(kù)管理技術(shù)
→歷史數(shù)據(jù)可查詢
→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式,供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項(xiàng)技術(shù)
→多達(dá)6種以上接觸角計(jì)算辦法
→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)
→支持粘附功計(jì)算、WBA分析等
二、清潔度表面張力接觸角測(cè)試儀系列表面清潔分析儀的功能實(shí)現(xiàn):
1、測(cè)試前:
(1)通過調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動(dòng)(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
(2)通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動(dòng)(XY),將注射泵移動(dòng)至角落后,以方便裝樣。
2、測(cè)試過程中:
(1)通過導(dǎo)軌前后、左右方向(XY)的移動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測(cè)試;
(2)通過移動(dòng)進(jìn)樣器升降移動(dòng)(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上);
(3)通過進(jìn)樣器注出液滴,進(jìn)行角度分析,精度可達(dá)0.02uL。
3、測(cè)試實(shí)現(xiàn)方法:
(1)通過相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分析敏感點(diǎn),計(jì)算得出角度值;
(2)計(jì)算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法;
(3)軟件對(duì)鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?,以期?shí)現(xiàn)更的測(cè)量。
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